| 性能指标 | 1. SE分辨率二次电子分辨率：≤0.7nm@15kv，≤1.4nm@1kv；2.底片倍率：最小≤20倍，最大≥2,000,000倍；样品尺寸：最大直径≥150mm；3.具有样品室 IR-CCD 相机实时监控功能或者 SEM-MAP 光镜导航功能；4.配备的能谱仪用于微区成分分析。 |
| 主要应用 | 扫描电镜主要应用于对样品微区形貌，结构与组成进行观察与分析。 它以分辨率高，景深好和操作简单而被广泛应用于材料学，物理学，化学，生物学，考古学，地矿学和微电子工业。 |
| 样品要求 | 1. 样品无磁性，无挥发性物质；2.材料耐真空；3.样品表面不能含有有机油脂类污染物；4.样品干燥；5.样品需要导电，不导电物质需要做喷金等处理。 |
| 收费标准 | 委托测试（微区形貌观察）：200元/小时（院内），400元/小时（校内），800元/小时（校外）；委托测试（EDS成分分析）：50元/次（院内），100元/次（校内），200元/次（校外）；委托测试（形貌+EDS成分分析）：250元/小时（院内），500元/小时（校内），700元/小时（校外）； 30分钟为一收费单元，喷金等费用另计。 |